一、項(xiàng)目名稱：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
二、項(xiàng)目編號(hào)：********
三、采購人：蘇州大學(xué)采購與招投標(biāo)管理中心
地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號(hào)凌云樓****室
郵編：******傳真：****-********
聯(lián)系人：丁老師 電話：****-********，********
電子郵箱：*****登錄后查看****.***.**
技術(shù)聯(lián)系人：朱老師 電話：***********
電子郵箱：*****登錄后查看****.***.**
四、采購貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求
反應(yīng)離子刻蝕機(jī) *套
(一)主要技術(shù)性能指標(biāo)要求
*.*刻蝕室：優(yōu)質(zhì)鋁材質(zhì)，自動(dòng)開蓋結(jié)構(gòu)，腔體內(nèi)徑≥Φ*****×*****
*.*極限真空≤*.*×**-***；
*.*設(shè)備升壓率≤*.*****.*/*；
*.*偏壓電極尺寸≥Φ*****；
*.*射頻電源功率≥****，帶自動(dòng)匹配；
*.*配置氣路：***、***、****、**、**、**；
*.*壓力控制范圍：*.***～*.***，精度±*.****；
*.*刻蝕不均勻性：Φ*英寸≤±*.*%(去除邊緣***)；
*.*刻蝕速率：**≥ *****/***， ****≥ ****/***；
*.**電極控溫范圍：*℃～**℃；
(二)主要配置要求
*.*刻蝕工藝腔及機(jī)架，*套
*.*前級(jí)渦旋干泵：帶防腐涂層，峰值抽速****/*；極限真空*.******，靜態(tài)密封性≤*×**-*****/**,*臺(tái)
*.*高真空分子泵，抽速≥****/*，*臺(tái)
*.*高真空電動(dòng)插板閥，Φ*****
*.*全量程復(fù)合真空計(jì)，*套
*.*前級(jí)管道壓力計(jì)，*套
*.*工藝薄膜硅，*個(gè)
*.*電容耦合電極，*套
*.*電容耦合偏壓射頻電源及配套匹配器≥****，功率精度滿足設(shè)定值的*%或額定功率的*.*%，*套
*.**質(zhì)量流量控制器，***、****、***、**、**、**各*臺(tái)，線性精度滿足±*.*%*.*；重復(fù)性滿足±*.*%*.*；
*.**電極低溫冷卻系統(tǒng)，*套(含水機(jī))
*.**電氣控制系統(tǒng)，*套(含西門子***、液晶顯示器、工控機(jī)等)
*.**控制軟件，*套(*#)
(三)質(zhì)保期不少于*年(驗(yàn)收合格后起算)。
五、評(píng)分標(biāo)準(zhǔn)
本次磋商采用綜合評(píng)分法，總分為***分，具體內(nèi)容如下：
(一)技術(shù)參數(shù)、配置及整體綜合性能分(**分)
*．技術(shù)參數(shù)及配置(**分)
以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評(píng)判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評(píng)判。
(*)所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足磋商公告要求(偏離)，或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評(píng)審可作為無效響應(yīng)文件。
(*)所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣*分。
*．綜合性能情況(**分)
(*)所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競爭性磋商文件中技術(shù)要求情況(磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的)(*分)。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加*分。
(*)所提供產(chǎn)品的市場反饋情況(*分)。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、市場占有率(同行業(yè)為主)、現(xiàn)有用戶的反饋情況等綜合評(píng)定。
(二)價(jià)格分(**分)
*．基準(zhǔn)價(jià)：滿足競爭性磋商文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià)，基準(zhǔn)價(jià)為滿分**分；
*．其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得分按照下列公式計(jì)算：報(bào)價(jià)得分＝(基準(zhǔn)價(jià)／報(bào)價(jià))×**分。
(三)綜合商務(wù)(**分)
*．綜合實(shí)力(*分)
根據(jù)供應(yīng)商綜合實(shí)力評(píng)定。
*．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等(**分)
(*)質(zhì)保期(*分)。符合磋商文件要求的，得*分，每增加一年質(zhì)保期加*分。
(*)服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況(*分)。
根據(jù)磋商響應(yīng)文件的相關(guān)承諾、服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶對(duì)產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評(píng)定。
*．其它優(yōu)惠措施等(*分)
根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評(píng)定。
六、磋商響應(yīng)報(bào)價(jià)應(yīng)包括所報(bào)儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測試驗(yàn)收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金(含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅)、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。
七、供應(yīng)商資質(zhì)要求
(一)具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；
(二)具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；
(三)具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
(四)有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；
(五)近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄；
(六)本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體報(bào)價(jià)。
八、磋商響應(yīng)文件的組成
(一)磋商響應(yīng)文件一般由下列材料組成(部分表格樣式見附件*)，復(fù)印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊(cè)：
*. 目錄(磋商響應(yīng)資料與頁碼對(duì)照表，原件)。
*. 磋商響應(yīng)函(原件)。
*. 響應(yīng)基本情況一覽表(原件)。
*. 詳細(xì)配置清單(原件)。
*. 技術(shù)規(guī)格偏離表(原件)。
*. 公司簡介(包括公司資質(zhì)、公司業(yè)績、公司榮譽(yù)等，原件)。
*. 資格證明材料
(*)營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記證以及組織機(jī)構(gòu)代碼證(復(fù)印件)。
(*)法定代表人授權(quán)書(原件)。
(*)法定代表人身份證明材料(如身份證、護(hù)照等)(復(fù)印件)。
(*)法人授權(quán)代表身份證明材料(如身份證、護(hù)照等)及單位社保證明(復(fù)印件)。
(*)供應(yīng)商最新的年度審計(jì)報(bào)告或財(cái)務(wù)報(bào)告(復(fù)印件)。
(*)儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營企業(yè)許可證(復(fù)印件，特殊行業(yè)必須提供)。
(*)儀器設(shè)備銷售代理授權(quán)證明(進(jìn)口貨物非生產(chǎn)制造廠商投標(biāo)的，須按第*.*條要求提供，專項(xiàng)授權(quán)書提供原件、代理證書提供復(fù)印件)。
(*)有關(guān)質(zhì)量認(rèn)證中心出具的質(zhì)量體系認(rèn)證證書(例如：***、***、**、**等，國家強(qiáng)制要求的設(shè)備必須提供，復(fù)印件)。
(*)近三年來與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶名單及聯(lián)系方式(以教學(xué)、科研用戶為主，原件)。
*. 服務(wù)措施、服務(wù)承諾(主要包括針對(duì)本項(xiàng)目的服務(wù)、培訓(xùn)方案及其他優(yōu)惠措施等)(原件)。
*. 供應(yīng)商認(rèn)為應(yīng)該提供的其他材料。
(二)特別說明
*. “磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標(biāo)單位公章。
*. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準(zhǔn)；
*. 相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照登錄后查看第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行。
九、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收以及售后服務(wù)等相關(guān)商務(wù)要求，參照登錄后查看第**條中的要求執(zhí)行。
十、磋商文件價(jià)格：人民幣***元(相關(guān)繳納事宜詳見附件*)，售后不退。
十一、供應(yīng)商在報(bào)名前，須認(rèn)真閱讀登錄后查看和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在****年**月**日**：**前將報(bào)名函(格式見附件)發(fā)送郵件至采購人處(*****登錄后查看****.***.**)。
十二、遞交磋商響應(yīng)文件相關(guān)事宜：
(一)順豐快遞(建議優(yōu)先采用)
*. 寄達(dá)時(shí)間：****年**月**日*：**前；
*. 收件人信息：
收件人：丁老師
聯(lián)系方式：***********
收件地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號(hào)凌云樓****室
(二)現(xiàn)場遞交
*. 現(xiàn)場遞交時(shí)間：****年**月**日*：**～*：**
*. 現(xiàn)場遞交地點(diǎn)：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號(hào)蘇州大學(xué)東校區(qū)東大門
十三、遞交磋商文件截止時(shí)間：****年**月**日*：**。
十四、磋商時(shí)間：****年**月**日*：**。
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