一、項目名稱：蒸鍍儀-手套箱
二、項目編號：********
三、采購人：蘇州大學采購與招投標管理中心
地址：江蘇省蘇州市東環路**號凌云樓****室
郵編：****** 傳真：****-********
聯系人：丁老師 電話：****-********，********
電子郵箱：*****登錄后查看****.***.**
技術聯系人：劉老師 電話：****-********，***********
電子郵箱：****登錄后查看****.***.**
四、采購貨物品名、數量及主要性能參數要求
蒸鍍儀-手套箱 *套
(一)主要技術性能指標要求
*蒸鍍儀部分
*.底盤結構
*.* 采用型材搭建或焊接式框架，外觀要求氧化處理或噴漆，防止生銹，配可以打開的磁吸柜門；
*.*底部帶輪子，可靈活推動，并帶有可調節高度的支腳；
*.*帶有機械旋轉手臂，有多角度調節操作界面；
*.* 電氣控制集成在底盤上，與真空腔體一體。
*.基片架結構
*.*可以固定*片****×** **的基片；或*片****×** **基片；或**片****×****基片，并可在線切換*次掩膜板。
*.*另一種為插盤式結構，可搭載*片*****×*****基片，附帶基片加熱功能，加熱范圍：室溫-***℃，向下兼容。
*.*電機驅動實現連續旋轉，最大轉速可達**轉/分鐘，通過磁流體與基片托盤連接；
*.* 配有二個擋板，氣缸驅動，二個擋板組合使用，可遮擋范圍*****×*** **；
*.* 腔體門板上安裝有長條形觀察窗，并附帶擋板，通過磁流體打開與關閉。
*.蒸發源
*.* 十組舟源，七組有機源，三組金屬源，用于材料蒸發，可蒸發常見有機材料，源與基片的垂直距離≥*****；
*.*每個蒸發源電極均采用水冷式結構，可以長時間蒸鍍；
*.* 每組蒸發源的上方同時配有防護板來防止蒸發源的交叉污染，防護板通過氣缸驅動，打開方式：左右旋轉；
*.* 源與源之間裝有隔板，并避免源與源之間材料相互污染；
*.* 二臺蒸發電源，功率不小于*.***，精度*.**，用于蒸發材料，可實現兩源共蒸。配合膜厚儀，能夠實現自動蒸鍍。
*.自動化控制軟件
*.*采用工控機控制模式，相關的操作均在工控機界面完成，顯示器通過機械手臂固定在設備框架上；
*.*真空系統控制軟件分為自動和手動模式，可以隨時切換；
*.*帶有一鍵自動蒸鍍功能。
*.膜厚控制系統
*.*四個標準晶振傳感器，均為水冷式，安放于腔體四個角落；
*.* 晶振探頭，膜厚儀與蒸發電源之間可實現閉環控制，用于控制電源功能及速率穩定性；
*.* 膜厚速率顯示精度：±*.**?/*；
*．* 蒸鍍速率，可蒸有機： 以***為標準，蒸鍍速率： 速度穩定性：≤±**%(*.*-*.*?/*)，≤±*%(*.*-**?/*)，≤±*%(>**?/*)；單片內膜厚均勻性≤*%。
*.真空室
*.* 真空室由不銹鋼制成，內部尺寸至少為*****×*****×*****，裝有基礎結構和擋板的固定裝置，以及蒸發電極、真空泵、樣品盤等裝置；
*.* 真空腔體配備兩個可以完全打開的門，前門為移門，通過與直線導軌、滑塊等裝置連接，可使前門左右開啟與關閉，后期也可以連接手套箱，在手套箱內部操作前門開關，確保整個工作環境處于氮氣或惰性氣體氛圍中；后門旋轉門，通過旋轉軸實現后門的開關，開啟后腔體內部完全暴露在空氣中，主要的目的為維護檢修，并配一個長方形觀察窗，配合腔體外部照明燈，方便觀察腔體內部狀況；
*.*腔體極限真空優于*.*×**-***，從常壓到*×**-***不超過*****(充氮氣保護)；
*.*氣動高真空插板閥，通徑大于等于*****；
*.*帶有旁抽系統，可以在不關閉分子泵的條件下，打開腔室,進行樣品及材料的更換；
*.*腔體內表面預留安裝金屬防污擋板接口,后期可安裝金屬防污擋板；
*.真空系統
*.* 前級泵的抽速不低于***3/*；
*.* 主泵采用抽速≥*****/*的分子泵；
*.* 主泵和腔室之間安裝有氣動插板閥，通徑≥*****；
*.* 自動抽氣控制，帶安全互鎖功能；
*.* 配有前級管路等相應的硬件；
*.* 真空室配真空計，測量范圍為大氣至**-***。
*.前處理設備
*.*鼓風干燥箱，數量*臺，體積***，溫度范圍**+**～***℃；
*.*圓形真空干燥器，數量*臺，室溫條件下真空度可以保持*****(*****)**小時以上，**材質，一次性注塑成形，不使用粘合劑，具有良好的密封性，裝有真空計量器。
*.* 立方體真空干燥器，數量*臺，室溫條件下真空度可以保持*****(*****)**小時以上，**材質，一次性注塑成形，不使用粘合劑，具有良好的密封性，裝有真空計量器；
*.* 抗化學腐蝕隔膜泵，數量*臺，極限真空度不高于*****；最大流量不低于***/***，泵頭采用****涂層耐化學腐蝕，干式運行無油霧污染；
*.*超聲波清洗器，數量*臺，體積***，頻率*****，帶加熱功能，可調功率；
*.*迷你渦旋混勻器，數量*臺，采用按壓式圓周偏心回轉振蕩，長寬高小于****，可外置電池組；
*.* 圓周式搖床，數量*臺，配備可調托盤，***顯示屏，設有定時功能，****～****范圍內任意設定，時間控制器可自動報警，可實現無人操作；
*.* 加熱磁力攪拌器套裝，數量*套，溫度范圍不小于：室溫～***℃，轉速范圍不小于*****～*******，加熱盤面采用鋁合金材質耐高溫耐腐蝕，盤面尺寸不小于Φ*****，具備自我診斷功能，內置兩路溫度傳感器，具備超溫保護功能，配置至少*套不同尺寸加熱塊。
*.隨機耗材
*.*腔體內部內襯板及防污玻璃*套；
*.*晶振片，****規格，*盒；
*.*配齊一套蒸發舟以及坩堝；
*.*真空吸筆一支；
*.* ****及配件*套。
*手套箱部分
*.技術指標要求
*.* 使用**.***%的惰性氣源，空箱運轉，箱內水氧含量均小于****。
*.* 箱體泄漏率＜*.***%/*(即關閉循環氧含量上升速率＜****/*)。
*.主要配置及具體要求
*.*箱體
*.*.* 四個不銹鋼箱體，每個箱體內部尺寸為長度≤******、深度≤*****、高度≤*****，箱體呈*型布置，箱體材質為******不銹鋼，厚度***；
*.*.* 四個視窗與箱體之間采用無泄漏雙層密封技術，可以有效阻擋空氣中的***、**、**分子擴散入手套箱和有毒分子擴散出手套箱，達到無泄漏效果(產品宣傳冊需有相關證明文件)；
*.*.*八個鋁合金手套口(由實心棒材加工而成，原色氧化，不接受***或鑄鋁材質的手套口，產品宣傳冊需有相關證明文件)；
*.*.*手套口與手套和視窗之間的密封使用無泄漏密封抽真空技術(產品宣傳冊需有相關證明文件)；
*.*.*四副原裝丁基橡膠手套。制造商擁有手套箱手套在線檢漏裝置用于箱體及手套檢漏；(需制造商提供相關技術證明文件)
*.*.*箱體背部預留多個****法蘭孔；
*.*.*四個鋼結構支架，高≥*****，安裝有萬向腳輪，具有調平、移動、固定等功能。
*.* 過渡艙
*.*.*一個*型大過渡倉，直徑≥*****，長度≥*****，通過在觸摸屏上點觸啟動按鍵，過渡艙可自動完成多次抽充程序；(此自動抽充功能需要提供證明文件)
*.*.*一個*型小過渡倉，法蘭連接，直徑≥*****，長度≥*****，小過渡艙門特別設計，易操作，不易損壞；
*.*.*兩個小方倉，焊接在箱體左側，尺寸：*****×*****×*****，其中一個方艙可升級為加熱倉(可抽真空并加熱)；
*.*.* 一個便捷型小過渡倉，焊接在箱體右側，直徑≥*****，長度≥*****，小過渡艙門易操作，不易損壞。
*.*高效氣體純化系統(數量：兩套)
*.*.*氧氣的吸附量≥**升；水的吸附量≥*公斤；
*.*.*配有凈化材料吸附飽和后可再生裝置。(需要提供相應的證明文件)
*.*.*有機溶劑吸附柱：含活性炭顆粒吸附材料，放置在箱體內，吸附飽和后可便捷更換材料。
*.*控制系統(數量：兩套)
*.*.* 控制系統由***和*”彩色觸摸屏組成，用戶友好的中英文操作界面；
*.*.*為節省能耗，循環風機功率小于***3/*，無需增加變頻器及冷水機。手套箱具有自動循環與手動循環兩種模式，大部分時間能耗小于***。(產品宣傳冊需有相關證明文件)
*.*驗收技術指標
*.*.* 泄漏率﹤*.***%/*(即關閉循環氧含量上升速率****/*，磋商文件需提供相關技術證明文件，其中泄漏率指標需提供國家級非地方性機構出具的測試認證報告，泄漏率檢測結果同時適用于正壓和負壓狀態下)；(此項作為最終驗收指標，如若不符用戶有權直接退貨)
*.*.* ***﹤**** ，**﹤****。(***顯示屏需顯示實際水氧含量，顯示屏上數值需精確到小數點后兩位，而且水含量數值能在***顯示屏上隨時切換成箱體內實測露點值(需提供相關技術證明文件)。(此項作為最終驗收指標，如若不符用戶有權直接退貨)
*.*標準配件
*.*.* 真空泵(數量：兩臺)：采用知名品牌；流量≥***3/*，極限真空*×**-*毫巴，可對過渡艙抽真空，并保持箱體壓力平衡；
*.*.* 氧分析儀(數量：兩臺)：采用知名品牌傳感器，材質為電化學燃料電池，不接受氧化鋯材質探頭，量程：*～*******。精度：*.****或量程的*%(產品宣傳冊需有相關證明文件并提供校準報告)。氧分析儀需要自帶數顯功能(需有相關技術證明文件)；
*.*.* 水分析儀/露點儀(數量：兩臺)：采用知名品牌傳感器，材質為氧化鋁膜探測器，量程：-***℃～**℃(露點)或者 量程：*～********，精度：*℃(產品宣傳冊需有相關證明文件并提供校準報告)；
*.*.*溫控系統(數量：一套) ，安裝于箱體頂部，控制箱內溫度**℃～**℃；
*.*.* 箱體內部設計安裝一個遮擋簾。
*.*其他配件
*.*.*國產鋼瓶減壓閥四個
*.*.*原裝進口丁基橡膠手套四只
*.*.*箱內電源線三根
*.*.*真空單管雙閥兩根
*.*.*顯示器支架一個
*.*.* 兩根*米長的清洗閥外接鋼絲軟管(直徑****、****)
*.*.*手套箱備用工具一套、電子檔說明書一份
(三)質保期不少于*年(驗收合格后起算)。
五、評分標準
本次磋商采用綜合評分法，總分為***分，具體內容如下：
(一)技術參數、配置及整體綜合性能分(**分)
*．技術參數及配置(**分)
以供應商提供的能直接反映該產品技術參數的彩頁或產品說明書等作為主要評判依據，其他情況由磋商小組根據實際情況進行評判。
(*)所提供產品多項不滿足磋商公告要求(偏離)，或參數偏離超出用戶教學、科研可接受范圍的，經磋商小組評審可作為無效響應文件。
(*)所提供產品不滿足磋商公告要求(偏離)、配置不詳、技術參數不明確、缺漏項的，每處扣*分。
*．綜合性能情況(**分)
(*)所提供產品性能參數優于競爭性磋商文件中技術要求情況(磋商小組認為超出指標有意義的)(*分)。其中優于項，每處加*分。
(*)所提供產品的市場反饋情況(*分)。根據所提供產品的品牌影響力、市場占有率(同行業為主)、現有用戶的反饋情況、使用所提供產品發表的學術論文情況等綜合評定。
(二)價格分(**分)
*．基準價：滿足競爭性磋商文件要求且價格最低的報價為基準價，基準價為滿分**分；
*．其他供應商的報價得分按照下列公式計算：報價得分＝(基準價／報價)×**分。
(三)綜合商務(**分)
*．綜合實力(*分)
根據供應商綜合實力評定。
*．售后服務與培訓情況等(**分)
(*)質保期(*分)。符合磋商文件要求的，得*分，每增加一年質保期加*分。
(*)服務、技術支持與培訓承諾情況(*分)。
根據磋商響應文件的相關承諾、服務網點設置情況、服務響應時間、現有用戶對產品售后服務情況及服務水平的反饋等綜合評定。
*．其它優惠措施等(*分)
根據供應商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認可的優惠措施綜合評定。
六、磋商響應報價應包括所報儀器設備費、安裝調試費、測試驗收費、培訓費、運行維護費、稅金(含美國產品被加征關稅)、國際國內運輸費、保險和其他為完成本項目所發生的一切費用。
七、供應商資質要求
(一)具有獨立承擔民事責任的能力；
(二)具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；
(三)具有履行合同所必需的設備和專業技術能力；
(四)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
(五)近三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄；
(六)本項目不接受聯合體報價。
八、磋商響應文件的組成
(一)磋商響應文件一般由下列材料組成(部分表格樣式見附件*)，復印件須加蓋供應商公章，所有材料須按序裝訂成冊：
*. 目錄(磋商響應資料與頁碼對照表，原件)。
*. 磋商響應函(原件)。
*. 響應基本情況一覽表(原件)。
*. 詳細配置清單(原件)。
*. 技術規格偏離表(原件)。
*. 公司簡介(包括公司資質、公司業績、公司榮譽等，原件)。
*. 資格證明材料
(*)營業執照、稅務登記證以及組織機構代碼證(復印件)。
(*)法定代表人授權書(原件)。
(*)法定代表人身份證明材料(如身份證、護照等)(復印件)。
(*)法人授權代表身份證明材料(如身份證、護照等)及單位社保證明(復印件)。
(*)供應商最新的年度審計報告或財務報告(復印件)。
(*)儀器設備生產或經營企業許可證(復印件，特殊行業必須提供)。
(*)儀器設備銷售代理授權證明(進口貨物非生產制造廠商投標的，須按第*.*條要求提供，專項授權書提供原件、代理證書提供復印件)。
(*)有關質量認證中心出具的質量體系認證證書(例如：***、***、**、**等，國家強制要求的設備必須提供，復印件)。
(*)近三年來與本次磋商儀器設備相同產品的用戶名單及聯系方式(以教學、科研用戶為主，原件)。
*. 服務措施、服務承諾(主要包括針對本項目的服務、培訓方案及其他優惠措施等)(原件)。
*. 供應商認為應該提供的其他材料。
(二)特別說明
*. “磋商響應文件”應裝訂并密封，并加蓋投標單位公章。
*. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準；
*. 相關材料及填寫規范按照登錄后查看第三條“投標文件”中的具體要求執行。
九、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調試、驗收以及售后服務等相關商務要求，參照登錄后查看第**條中的要求執行。
十、磋商文件價格：人民幣***元(相關繳納事宜詳見附件*)，售后不退。
十一、供應商在報名前，須認真閱讀登錄后查看和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在****年*月**日**：**前將報名函(格式見附件)發送郵件至采購人處(*****登錄后查看****.***.**)。
十二、遞交磋商響應文件相關事宜：
(一)順豐快遞(建議優先采用)
*. 寄達時間：****年*月**日**：**前；
*. 收件人信息：
收件人：丁老師
聯系方式：***********
收件地址：江蘇省蘇州市東環路**號凌云樓****室
(二)現場遞交
*. 現場遞交時間：****年*月**日**：**～**：**
*. 現場遞交地點：江蘇省蘇州市東環路**號蘇州大學東校區東大門
十三、遞交磋商文件截止時間：****年*月**日**：**。
十四、磋商時間：****年*月**日**：**。
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