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高真空智能磁控離子濺射儀采購終止公告
廣東 深圳
招標公告
36.8萬元
  發布單位： 火標網  發布日期： 2025-09-25 10:30:35
咨詢此項目熱線：19352828043
詳情內容

南方科技大學 *******-**-****-***** 終止公告

項目名稱 高真空智能磁控離子濺射儀采購
項目編號 *******-**-****-*****
項目類型 貨物類
成交方式 最低價成交
采購方式 公開競采
終止理由 備案
公告發布時間 ****-**-** **:**:**
預算(元) ******.**
項目預算是否含稅 國產含稅
備注
采 購 明 細
序號 名稱 數量 單位
* 高真空智能磁控離子濺射儀(核心貨物) * 套
是否接受進口 拒絕進口 品牌 無推薦品牌 型號 無推薦型號 技術規格及參數 一、技術參數 *、外形尺寸(主機) ***(*)×***(*)×***(*) *、輸入電源 ****/**** ***** *、濺射靶頭 *：直流磁控濺射，可用靶材，所有金屬靶材 *、濺射靶頭 *：射頻磁控濺射，可用靶材，無機非金屬靶材 *、真空系統：進口渦輪分子泵+旋片式真空泵 *、抽速：***/* + *.**/* *、真空測量：復合式真空規 *、量程范圍：**-* ~ ***** *、可視化、可拆卸、可清洗真空室真空室：φ ***×***** 高硼硅玻璃 **、抽氣節拍：** 分鐘(≤**-***)，**分鐘內優于**-***，具備電流保護和真空保護功能 **、樣品臺尺寸：φ ***** **、具備可旋轉樣品臺，轉速可調，最高轉速不小于**轉/分； 真空室內徑不小于*****，高度不低于*****； **、樣品臺切換：自動控制、自動旋轉 **、濺射靶材尺寸：φ ****(厚度 *.*-***) **、工作真空：*.*-*** **、*操作界面：* 英寸 *** 觸摸式液晶屏，可實時顯示靶材使用時間、設備工作時間和鍍膜厚度；可用實時曲線顯示濺射電流和真空度 **、操作語言：中文(可選其它語言) **、冷水機：小型臺式制冷機 **、冷水機功率：**** **、預濺射擋板：標配全自動控制預濺射擋板，確保鍍膜純度，減少污染。 **、安裝環境：****/*** 三孔插座一個、純度 ** 及以上的高純氬氣(出口壓力 *.*****) **、*內置不少于**種靶材濺射參數，包括金、鉑、鉻、鎢、鈦、鋁、鎳等常用靶材和***、***、****、聚四氟乙烯、***等非金屬氧化物靶材，可一鍵調用； **、*分子泵轉速可調：*-****轉/*，最高*****轉/分鐘 **、分子泵過熱保護功能 **、膜厚測量：可實現*.*-*****單次厚度設置，測量精度*.***，顯示精度*.*** **、系統采用**** 芯片微處理器控制系統，全數字顯示，可實時顯示分子泵轉速、功率、電流、軸承溫度等工作參數 **、*氬氣沖洗：可設置沖洗時間、沖洗次數、沖洗氣量等參數調整，提高腔體潔凈度、提升鍍膜效果 質保期 質保一年，終生維護。 售后要求 *、產品屬于廠家原裝合格產品：賣方保證所提供的貨物是全新的、未使用過的原裝合格產品且是最新產品，并完全符合合同規定的質量、規格和性能要求。*、提供免費首次上門安排調試培訓服務，并承擔由此產生的一切費用，終身維修。與硬件無關的軟件模塊終身免費升級，硬件只需貼補差價，即可提供無障礙模塊化升級服務。*、可視化、可拆卸、可清洗真空室真空室可免費更換*次*、濺射的電極可以免費試用摯盒**測試系統測試一次*、靶材固定器可免費更換*次
付款方式 合同生效并甲方收到乙方開具相應發票之日起(**)個工作日內支付合同總額的(**)%作為進度款。甲方應在貨物交付、安裝調試、試運行及驗收合格之日起(**)個工作日內向乙方支付本合同價款總額的(**)%。
交貨期 合同簽訂后**天(自然日)內，具體時間根據學校要求提前*天(自然日)通知送貨
項目官方指定標書制作單位：19352828043
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